1. 工作介質與有無油污染

   - 無油隔膜真空泵：

       - 工作過程中不需要使用油作為工作介質。它是通過隔膜的往復運動來實現抽氣，氣體在泵內的壓縮和傳輸是通過隔膜與泵體形成的氣室完成的。

       - 這種泵最大的優勢就是無油污染。在使用過程中不會產生油蒸汽，所以對于對潔凈度要求很高的環境，如實驗室分析儀器（氣相色譜、質譜等）、電子芯片制造、食品藥品真空包裝和真空干燥等領域，不會因為油的存在而污染被處理的樣品或產品。

   - 隔膜真空油泵：

       - 以油作為工作介質和潤滑劑。泵內有油循環系統，油在其中起到密封、潤滑和冷卻的作用。當隔膜運動時，油幫助維持氣室的密封性，同時帶走因摩擦產生的熱量。

       - 由于使用了油，在工作過程中存在油蒸汽泄漏的可能性。這使得它在一些對油污染敏感的環境下不適用，但在一些對清潔度要求不高的普通工業真空應用中，能夠發揮其性能優勢。

2. 性能特點

   - 真空度和極限真空：

       - 無油隔膜真空泵：通常能夠達到較高的真空度，其極限真空可以達到很低的壓強水平。這是因為它的結構設計使得氣體在無油的環境下能夠更有效地被壓縮和排出，而且不會因油的存在而產生反壓等影響真空度的因素。例如，一些高性能的無油隔膜真空泵極限真空可以達到1 - 10 mbar。

       - 隔膜真空油泵：其真空度和極限真空性能受油的影響。油的蒸氣壓會限制泵所能達到的最-低壓強，一般來說，隔膜真空油泵的極限真空度相對無油隔膜真空泵稍差一些，可能在10 - 100 mbar左右。

   - 抽氣速率和穩定性：

       - 無油隔膜真空泵：抽氣速率相對穩定，因為它的工作不依賴于油的循環和狀態。在長時間工作過程中，只要隔膜等部件正常工作，其抽氣速率能夠保持在一個較為穩定的水平，能夠滿足對抽氣速度和穩定性要求較高的應用場景，如連續的真空過濾、真空干燥等。

       - 隔膜真空油泵：抽氣速率在一定程度上會受到油的粘度、溫度等因素的影響。如果油的溫度過高或者油的粘度因使用時間等因素發生變化，可能會導致抽氣速率不穩定。不過在正常工作狀態下，也能夠提供滿足一般工業需求的抽氣速率。

   - 耐腐蝕性和工作介質適應性：

       - 無油隔膜真空泵：對于一些對油敏感的氣體或蒸汽（如一些化學活性氣體、有機溶劑蒸汽等）有更好的適應性，不會因為與油接觸而發生化學反應。而且由于沒有油的存在，在處理一些腐蝕性氣體時，只要隔膜材料本身具有良好的耐腐蝕性，就能夠正常工作。

       - 隔膜真空油泵：由于內部有油，當遇到一些能夠與油發生化學反應或者溶解油的氣體時，可能會出現問題。例如，某些強氧化性氣體可能會氧化泵油，降低泵的性能，或者一些有機溶劑可能會稀釋泵油，影響泵的密封性和工作效率。

3. 維護保養

   - 無油隔膜真空泵：

       - 維護相對簡單。由于沒有油的存在，不需要定期更換泵油。主要維護工作是檢查隔膜的完整性、閥門的工作狀態以及清潔泵體內部和外部的灰塵等。更換隔膜等部件也相對容易，成本較低。

       - 使用壽命相對較長，因為沒有油的腐蝕和因油質變化引起的部件磨損等問題，只要正常使用和定期維護，能夠在較長時間內保持良好的性能。

   - 隔膜真空油泵：

       - 需要定期更換泵油，以保證泵的工作性能。一般來說，根據工作強度和泵油的質量，可能需要每隔一段時間（如幾個月到一年）更換一次泵油。同時，還需要檢查油的質量、油位等。

       - 由于油的存在，泵體內部部件可能會因為油的腐蝕或者油中的雜質而出現磨損等問題。維護過程相對復雜，需要對泵油系統進行檢查和維護，而且如果泵油泄漏，還需要清理泄漏的油，以免造成安全隱患或環境污染。